半導体関連 802B型水銀プローブ
802B型水銀プローブ http://www.mdc4cv.com/
測定時に電極の製作が不要な為、水銀プローブの需要が高まっています。
また、電極の製作が不要な為、Low-k素材などのサンプルを容易に測定でます。
水銀電極表面
仕様
- 本体寸法: 15cm×33cm×18cm(幅×奥行き×高さ) ＊6インチウェハ用
重量: 約3kg - ダークボックス:約22cm×45cm×20cm(幅×奥行き×高さ)
重量: 約2kg - コネクタ: BNCコネクタ
- 電極直径: 約760um(出荷時に正確な値が添付されます。)
- 面積再現性: 1.1%
- リング電極面積:ドット電極面積比=48.6:1
- 最小サンプルサイズ:φ15mm 又は □15mm
MDC社では、水銀電極を単体でも販売しています。
- Low k 膜の誘電率測定に最適
- ゲート電極不要802型シリーズ水銀電極
- 6、8、12インチウェハ対応
- コンタクト面積再現性：1.1％
- 電極径：760μm（一般値）
- オプション：比抵抗値参照ウェハ WS-RES
お問い合わせ
株式会社ネットウエル 事業企画
TEL：03-5368-3459
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